主要业务\华特气体：2019年年度报告（修订版） 一、 报告期内公司所从事的主要业务、经营模式、行业情况及研发情况说明 (一) 主要业务、主要产品或服务情况 1、主营业务基本情况 报告期内公司主营业务以特种气体的研发、生产及销售为核心，辅以普通工业气体、气体设备与 工程业务，打造一站式服务能力，能够面向全球市场提供气体应用综合解决方案。 10 / 212 2019年年度报告 2、公司提供的主要产品和服务情况如下： 类别 简介及用途 特种气体 1、广泛用于集成电路、新型显示面板、光伏能源、光纤光缆等电子产业的加工制造过 程，主要包括清洗、蚀刻、光刻等，具体情况如下： ①清洗、蚀刻：高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、高纯二氧化碳等； ②光刻气：氪氖混合气、氟氖混合气等； ③外延气体、成膜气体：高纯氨、硅烷等； ④掺杂气体：乙硼烷、三氯化硼、磷烷等； ⑤其他：氮（6N）、氢气（6N）、氩（5.5N）等； 2、除电子领域外，用于医疗、测量、食品等众多领域的产品： ①医疗气体：医用氧、血气测定气等，用于诊断、手术、医学研究等； ②标准气体：由高纯碳氢气体配制，在物理、化学、生物工程等领域中用于校准测量 仪器和测量过程，评价准确度和检测能力，确定材料的特性量值； ③激光气体：氦氖激光气、密封束激光气等，用于国防建设、激光加工等； ④食品气体：二氧化碳、乙炔、氩等，用于饮料气体、蔬菜/水果保鲜等； ⑤电光源气体：氩、氪、氖、氙及其混合气，用于电器、灯具生产。 普通工业 主要为氧、氮、氩、工业氨等气体，在金属冶炼、化工、机械制造、家电照明等众多 气体 产业领域。 气体设备 1、气体设备包括低温绝热气瓶、汽化器、撬装装置等，可广泛用于气体的存储、充装 与工程 等过程； 2、气体工程主要是为客户提供的供气系统设计、安装、维修服务。 （1）特种气体 公司的特种气体主要面向集成电路、新型显示面板、光伏能源、光纤光缆等新兴产业，公司在上 述领域实现了包括高纯四氟化碳、高纯六氟乙烷、光刻气、高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯氨、 高纯一氧化氮等众多产品的进口替代。 考虑到消费品市场巨大的市场空间和我国快速的消费升级需求，公司利用现有的技术和产品向医 疗、食品等应用领域进行延伸，并获得了国内为数不多的 食品添加剂生产许可证。 （2）普通工业气体 公司的普通工业气体产品主要为氧气、氮气、氩气、工业氨气等，其中氧气主要用作金属冶炼等 行业的助燃剂、化肥等化工工业的氧化剂；氮气主要用作化工、机械制造、家电等行业的保护气、金 属冶炼等行业的炉温退火；氩气主要用作电弧焊接的保护气、填充光电管等；工业氨气主要用作电厂 环保脱硝处理、味精生产、金属加工等，以及进一步纯化得到高纯氨。 （3）气体设备与工程 气体设备主要包括低温绝热气瓶、汽化器、撬装装置等，广泛用于气体的存储、充装等过程；气 体工程主要是为客户提供的供气系统设计、安装、维修等配套服务，包括为特种气体客户提供的定制 化高纯洁净供气系统服务，以保证特种气体产品在其使用过程中的纯度、精度等保持稳定。 (二) 主要经营模式 1、采购模式 （1）采购内容 公司的主要采购内容为气体原料、气体容器和气体设备相关配件。对于气体原料，供应商包括空 分气体企业、金属冶炼企业、化工企业、生产粗产品的气体公司、气体贸易商等；对于气体容器，供 应商为生产钢瓶、储槽、储罐等的企业；对于气体设备相关配件，供应商为生产钢板、铝材、五金、 阀门等产品的企业。 （2）供应商选择 供应商选择方面，公司通过广泛调查全国乃至全球相关原料的供应商情况，经比对筛选，初步确 定供应商，再对其经营资质、生产能力、质量及稳定性、服务能力、价格等多方面进行评估，评估通 过后经样品检测合格方可纳入供应商名录，建立采购合作关系。建立正式合作关系后，公司仍将围绕 交期、价格、品质、服务四方面对供应商进行定期考核，考核合格才可保持合作关系。通过严格、合 理的供应商管理，公司保证了采购货源、质量的稳定以及采购价格合理。 （3）采购方式 对于气体原料，公司一般与主要供应商签订年度或更长期的框架协议，对产品的规格、价格、品 质等要素进行约定，再根据具体的生产需求以订单形式采购，通常在下订单时需提前1-3天通知供应 11 / 212 2019年年度报告 商备货，经供应商确认后货源充足后再下订单，在订单中再对采购数量、交货地点、交货时间等进行 明确约定。 2、生产模式 公司主要采取“以销定产”的生产模式，即公司会根据销售合同或订单制定生产计划和组织生产， 并结合销售合同、过往销售状况及对销售订单的合理预测，确定合理库存量。 在生产过程方面，对于特种气体，一般需外购初级气体原材料后经合成、纯化、混配、充装、钢瓶处 理、检测等生产过程后再销售，且由于特种气体的精细化特点，针对不同的客户在杂质参数、颗粒物 含量等方面的不同要求，生产工序存在一定程度的定制化特点；对于普通工业气体，一般外购液态气 体后充装至钢瓶、储罐等容器后进行销售。 3、销售模式 公司的销售以直销为主，按客户类型可分为终端客户和气体公司，气体公司主要为液化空气集团、 普莱克斯集团等专业气体公司，也包括部分气体贸易商。专业气体公司之间采购属于行业内常见现象， 其主要原因包括： （1）作为原料气体用于其合成、纯化、混配、充装等生产加工过程； （2）外购不自产的产品以满足客户的综合需求； （3）短期产能不足以满足订单需求时作为产能补充。 公司的销售按销售区域可分为境内销售和境外销售，境内业务方面，公司主要通过自身销售团队 进行国内市场开拓；境外业务方面，目前公司的客户主要为专业气体公司，市场开拓主要通过展会、 网络宣传、客户介绍等方式进行，境外业务多为特种气体的销售。 销售定价方面，主要以成本加成为核心原则，在此基础上综合考虑市场竞争情况及客户的用气规 模、稳定性、信用期等因素后确定。此外，单个品种的气体产品易受供给变化、下游产业发展、竞争 环境变化、客户结构区别等因素影响，其产品价格或呈现一定的波动性。毛利率方面，普通工业气体 由于其附加值较低、客户用量较大，因此定价毛利率较低；特种气体由于其具有定制化、高附加值、 客户粘性强等特点，定价空间较大，毛利率较高。此外，对于境外业务，客户主要为专业气体公司， 行业认知度高且议价能力强，其产品毛利率相对国内较低。 4、供气模式 （1）气瓶模式 针对用气规模较小的用户，公司在客户有用气需求时，将瓶装气送至客户处。由于特种气体的产 品种类众多，且单一品种在下游产业的使用中均占比较小，客户用气多存在多品种、小批量、高频次 的特点，因此对于特种气体，公司多采用气瓶模式，且特种气体由于单位价值较高，基本无运输半径 限制，客户在关注配送和服务能力的同时，更关注产品的质量和稳定性。而普通工业气体的瓶装气模 式相对于槽车模式量更小，其运输半径也更小一般为50km左右，客户则更着重于气体公司的配送和 服务能力。 （2）槽车模式 公司针对中等用气规模的客户，提供的用气方案一般为在客户现场装置储罐和汽化器等装备，公 司通过低温槽车将低温液体产品运输至客户处并充装至客户的储罐中，客户在用气需求时对储罐内的 液态气体通过汽化器气化使用。槽车模式较多见于普通工业气体业务，槽车模式有运输半径的限制， 一般为200km左右，且由于产品具有同质化的特点，客户更着重于气体公司的配送和服务能力。 5、仓储和物流模式 （1）仓储模式 由于普通工业气体运输半径的限制，公司必须在销售地建立仓储物流中心，以此为基础扩大市场 范围，同时特种气体、气体设备业务也可因此缩短运输距离，达到提高运输效率、降低运输成本、增 强运输安全性的效果。目前，公司立足佛山，通过在深圳、中山、江门设立子公司，基本完成了珠三 角地区的仓储布局与网络建设。同时公司还在湖南、江西、浙江等地设立了5家子公司，辐射范围逐 步向华东、华中乃至全国扩散，仓储布局与网络建设日趋完善。 （2）物流模式 公司的物流模式以自主配送为主，同时以有资质的第三方配送为辅。自主配送方面，公司目前拥 有近百辆槽车、货车等运输车辆，半径200公里内均可一日送达；第三方配送方面，公司与多家有资 质的物流公司签署了物流运输协议，对公司的配送能力进行有效补充。此外，公司的海外业务采用海 陆联运模式，公司将货物运输至境内港口，此后由第三方船运公司进行运输，并根据双方约定的不同 方式完成交货。 12 / 212 2019年年度报告 (三) 所处行业情况 根据中国证监会《上市公司行业分类指引》（ 2012 年修订）标准，公司所属行业为“ C26-化学 原料和化学制品制造业” ；根据国家统计局《国民经济行业 分类（ GB/T4754-2011）》标准，公司 所属行业为“ C2619-其他基础化学原料制造”。公司的核心业务为特种气体的研发、生产及销售，并 提供相关技术服务，符合国家《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录（ 2016 版）》《新材料产 业 指南》《战略新兴产业分类（ 2018）》等产业政策的规定，属于前沿新材料产业领域。 1. 行业的发展阶段、基本特点、主要技术门槛 （1）特种气体行业发展阶段 经济新常态下更加强调经济结构的优化升级，大规模集成电路、新型显示、高端制造、新能源战 略等新兴产业对中国经济增长的贡献率将愈加突出。特种气体作为上述产业发展不可或缺的关键性材 料，其相关下游领域的快速发展将带动特种气体的快速增量。根据中国半导体行业协会的数据，2018 年我国电子特气市场规模达到了121.6亿元，较上年同比增长了11.2%，在全球营业收入的占比已达到 38.15%，特种气体将为中国新兴产业的发展注入新动力。在全球范围内，电子特气需求量也在不断提 升。随着全球半导体市场规模在2018年的高增长，全球集成电路用电子特气的市场规模达到45.1亿 美元（约合人民币318.7亿元），市场规模较上年同比增长了15.9%。 （2）特种气体行业基本特点 ①特种气体国产化趋势明显 自20世纪80年代中期特种气体进入中国市场，中国的特种气体行业经过了30年的发展和沉淀。 通过不断的经验积累和技术进步，业内领先企业已在部分产品上实现突破，达到国际标准，逐步实现 了进口替代，特种气体国产化具备了客观条件。特种气体在技术进步、需求拉动、政策刺激等多重因 素的影响下，国产化进程势在必行。 ②集成电路领域技术快速更迭，特种气体产品技术要求持续提高 随着国内半导体制造的崛起，也加速推动了半导体材料的国产化进程，国产化半导体的产能也会 大幅增加，从而导致本土材料的需求量也会增加。全球范围内，集成电路领域技术快速更迭，晶圆尺 寸从6寸、8寸发展到12寸乃至18寸，制程技术从28nm到14nm再到7nm。而国内同样在产业政策 推动、集成电路产业大基金扶持等多重因素的促进下，集成电路产业技术在面向世界前沿水平加速追 赶。作为集成电路行业的关键性材料，伴随着下游产业技术的快速迭代，特种气体的精细化程度持续 提高，对特种气体生产企业在气体纯度、混配精度等方面的技术要求都将持续提高。 ③行业竞争将逐步趋向于综合服务能力的竞争 气体的产品种类丰富，而多数客户在其生产过程中对气体产品亦存在多样化需求。客户在考虑成 本、仓储管理、供应稳定等方面的同时，也提出更多的定制化的需求，这对气体供应商的技术、工艺 水平和产品种类都提出了更高、更全面的要求。为了保持气体供应的稳定，双方会建立长久的合作关 系。此外，由于气体产品的特殊性，其使用过程中的包装物、管道以及供气系统的处理均会对最终使 用的产品性能产生影响，因此客户更希望供应商能够提供气体包装物的处理、检测、维修，供气系统、 洁净管道的建设、维护等全面的专业性增值服务。 （3）特种气体主要技术门槛 特种气体在其生产过程中涉及合成、纯化、混合气配制、充装、分析检测、气瓶处理等多项工艺 技术，以及客户对纯度、精度等的高要求，对行业的拟进入者形成了较高的技术门槛。 ①气体纯度 气体纯度是特种气体产品的核心参数，要求超纯、超净，超纯要求气体纯度达到4.5N、5N甚至 6N、7N，超净要求严格控制粒子与金属杂质的含量，纯度每提升一个N以及粒子、金属杂质含量浓度 每降低一个数量级都将带来工艺复杂度和难度的显著提升。 ②混合气配制 混合气配比的精度是核心参数，随着产品组分的增加、配制精度的上升，常常要求气体供应商能 够对多种ppm（10-6）乃至 ppb（10-9）级浓度的气体组进行精细操作，其配制过程的难度与复杂程 度也显著增大。 ③气瓶处理 气瓶处理是保证气体存储、运输、使用过程中不会被二次污染的关键，对气瓶内部、内壁表面等 的处理涉及去离子水清洗、研磨、钝化等多项工艺，而磨料配方筛选、研磨时间设定、钝化反应控制 等均依赖长期的行业探索和研发。 ④气体分析检测 13 / 212 2019年年度报告 气体分析检测方法建议的基础是对气体生产过程的熟悉，在不具备对应产品纯化或混配能力的情 况下，对于气体可能含有的杂质组分、可能得浓度区间均难以判断、也就难以针对性建立检测方法。 （3）普通工业气体行业的发展阶段 近年来，随着中国逐步进入经济新常态，中国经济的产业不断升级换代，产业结构不断调整，普 通工业气体的需求基本趋于平稳。其中以盈德气体、宝钢气体、杭氧股份、金宏气体为代表的国内普 通工业气体生产商占有较大的市场份额，另外还有以国外的林德集团、液化空气集团为代表的生产商 也占有国内的部分普通工业气体市场。 2. 公司所处的行业地位分析及其变化情况 随着公司的持续研发，公司逐步实现了高纯六氟乙烷、高纯三氟甲烷、光刻气、高纯四氟化碳、 高纯二氧化碳、高纯一氧化碳、高纯八氟丙烷、高纯一氧化氮等近20个产品的进口替代。 经过近二十年的发展，公司的技术积累日益深厚。截止至报告期末，公司已获专利101项、参与 制定30项国家标准，承担了国家重大科技专项（02专项）中的《高纯三氟甲烷的研发与中试》课题 等重点科研项目，于2017、2019年作为唯一的气体公司入选“中国电子化工材料专业十强”。 在集成电路等高端领域由液化空气集团、林德集团、空气化工集团、普莱克斯集团、大阳日酸株 式会社株式会社、日本昭和电工等国外气体公司寡头垄断的情况下，公司经过长期的产品认证，成功 实现了对国内8寸以上集成电路制造厂商超过80%的客户覆盖率，解决了中芯国际、华虹宏力、长江 存储、武汉新芯、华润微电子、台积电（中国）、和舰科技、士兰微电子、柔宇科技等客户多种气体 材料的进口制约，并进入了英特尔（Intel）、美光科技（Micron）、德州仪器（TI）、海外台积电、海 力士（Hynix）等全球领先的半导体企业供应链体系。公司部分产品已批量供应14纳米、7纳米等产线， 并且公司的部分氟碳类产品也被台积电（台湾）7纳米以下的工艺使用。在集成电路等半导体领域， 公司取得了很高的市场认可度。 3. 报告期内新技术、新产业、新业态、新模式的发展情况和未来发展趋势 （1）新技术 近年来，随着产业技术进步，带动了新材料的应用与发展。如高纯三氟甲烷、高纯氪气在3D NAND 工艺制成中就得到大量的应用。 （2）新产业 随着集成电路、液晶面板、LED、光纤通信、光伏、高端装备制造、医疗健康等国家重点发展的新 兴行业的快速发展，也带动了特种气体在新兴行业中的发展和应用。如3D打印、5G技术、新能源汽 车、云服务器等新兴行业的市场增长，也将会带动特种气体产品需求量的增长。 （3）新业态 随着国内供给侧改革的深入，我国特种气体的发展潜力巨大。国内气体企业相较于国外的气体企 业整体规模较小，加快资源整合，不断提升自身综合竞争能力，扩充国内市场的占有率以适应新业态 的发展。 （4）新模式 随着高新技术产业和新兴产业的快速发展，对特种气体产品的多样性和复杂性要求也更多，对品 质要求也更严格。新发展模式下行业和产品的纵横向延伸是企业有力的竞争力，如民用类特种气体。 公司在发展民用特种气体方面吸收了欧美等发达国家的经验，产品销售具备由厂商直接销售到消费者 的模式，以国内14亿人口计算，民用特种气体市场的市场发展潜力较大。 （5）新政策 工业气体行业是我国产业政策重点支持发展的高新技术产业之一。2019年，国家工信部发布了《重 点新材料首批次应用示范指导目录（2019版）》，该目录将用于集成电路和新型显示的电子气体的特 种气体、高纯氯气、三氯氢硅、锗烷、氯化氢、氧化亚氮、羰基硫、乙硼烷、砷烷、磷烷、甲硅烷、 二氯二氢硅、高纯三氯化硼、六氯乙硅烷、四氯化硅等列为重点新材料。同时，国家财政部发布了《关 于提高机电 文化等产品出口退税率的通知》，将多元件集成电路、非电磁干扰滤波器、书籍、报纸等 产品出口退税率提高至16%。 （6）未来发展趋势 ①政策的大力支持将助推行业快速发展 近年来，尤其是2016年以来，国家发改委、科技部、工信部等连续出台了《国家重点支持的高新 技术领域目录》（2016）、《战略性新兴产业重点产品和服务指导目录》、《新材料产业发展指 南》、《重点新材料首批次产业应用示范指导目录（2019年版）》等多部战略新兴产业相关政策， 将特种气体列入新材料产业，大力支持和推动特种气体产业的发展。 ②下游产业发展迅速，市场需求持续扩大 14 / 212 2019年年度报告 特种气体下游应用领域集中在电子、新能源等战略性新兴产业，2016年，国务院发布了《“十三 五”国家战略新兴产业发展规划》（以下简称“《规划》”），提出到2020年战略性新兴产业要实现 产业规模持续壮大，成为经济社会发展的新动力；创新能力和竞争力明显提高，形成全球产业发展新 高地以及产业结构进一步优化，形成产业新体系。在《规划》提出的重点领域及其优先主题基础上， 锁定战略性新兴产业出台了一系列相关产业政策，推动了电子、新能源等特种气体的下游产业发展迅 速，根据国家统计局统计，2019年中国集成电路产量2,018.20亿块，较2018年增幅达16.02%。 下游产业的迅速发展不仅在规模上增加了特种气体的需求，产业创新、技术迭代带来新工艺、新 产品等，也进一步拓宽了特种气体的应用领域，不断产生新的特种气体产品需求。 ③特种气体国产化需求推动产业发展 随着电子、新能源等产业的迅速发展，特种气体长期严重依赖进口所导致的产品价格高昂、交货 周期长、服务不及时等问题日益突出，严重制约了我国战略新兴产业的健康稳定发展，甚至用于军事、 国防、航天等国家安全领域的特种气体更是受到国外的限售，因此下游产业对特种气体国产化的需求 明显，同时随着国家政策的支持和国内特种气体的技术突破，客观上国内的特种气体开始逐步具备替 代进口的能力，未来国产替代进口的市场需求广阔。 15 / 212 2019年年度报告 (四) 核心技术与研发进展 1. 核心技术及其先进性以及报告期内的变化情况 （1）核心技术的先进性 公司在气体纯化、气体混配、气瓶处理、分析检测等特种气体生产关键环节形成了自身的核心技术，均来源于自主研发，其具体情况如下： 序号 核心技术名称 核心技术简介 技术先进性 具体表征 专利情况 1 气体纯化技术 气体纯化是通过多重高效吸附、精 国际先进 吸附方面，公司通过对分子筛种类、性 《一种四氟化碳的纯化方法》、《一种 馏等方式，对气体原料中的水分、 能等的研发，杂质吸附水平较高，如高 八氟丙烷纯化方法》、《一种六氟乙烷 空气、金属离子、颗粒物等杂质进 纯四氟化碳中的卤代烃，公司可控制在 的纯化方法》、《一种三氟甲烷纯化装 行去除，将气体纯度提至 5N 0.5ppm（0.5*10^6），高于行业 1-2ppm 置及纯化方法》、《一种一氧化氮的纯 （99.999%）、6N（99.9999%）乃至 的吸附水平；精馏方面，公司能分离沸 化方法》、《一种氨气的纯化方法》等 7N（99.99999%） 点相差 2℃组分，高于分离沸点相差 5℃的行业一般水平 2 气体混配技术 气体混配是指根据不同需求，运用 国际先进 在管线布局方面，公司根据气体性质进 《一种气体转充装置》《一种氟气混合 重量法、分压法、动态体积法等方 行针对性研究，真空环境可达0.01pa， 气的处理设备》《一种高效混合气配制 法，将两种或两种以上组分的气体 高于行业一般的 0.3pa；在配气控制方 装置及使用其的配气系统》《一种混合 按照特定比例混合，对配制过程的 面，可结合环境温度、湿度、风速等的 气体均匀混合装置》等 累计误差控制、配制精度、配制过 影响，配气误差达到± 2%以内，高于行 程的杂质控制等均有极高要求 业一般的± 5%的误差水平 3 气瓶处理技术 气瓶处理在气体存储、运输、使用 国际先进 研磨方面，公司可使光洁度达到 《一种高效的气瓶清洗系统》《一种准 的过程中对保持气体品质意义重 0.1~0.5μ m，高于行业一般的 0.5μ m； 分子激光气配制装置的钝化方法》《一 大，通过去离子水清洗、内壁研磨、 钝化方面，公司能使腐蚀性气体 1 年 种圆柱体密闭容器内壁清洗机》等 钝化等工艺，解决钢瓶内壁吸附杂 内量值变化不超过 1%，高于行业一般 质的二次污染、与载气发生反应等 的 5%；抽真空方面，公司能使真空环 问题 境达 0.01pa，高于行业一般的 0.3pa 4 气体分析检测 由于气体“看不见、摸不着”的特 国内先进 相比于行业内一般的检测水平（检测精 《准分子激光气中微量氟的检测方法》 技术 点，其参数量化均依赖于分析检测， 度为1-10ppb），公司对多种气体的检 等 需基于对检测对象的分析判断，建 测精度可达0.1ppb（0.1*10-9），而且 立专门的检测方法，通过气相色谱 对于重组分检测、百分比浓度含氟量的 仪、微量氧分仪等设备对气体的纯 检测等行业难题均建立了独特的检测 度、金属杂质、颗粒物等进行精准 方法 检测，对气体产品质量的控制具有 重要意义 （2）报告期内的变化情况 16 / 212 2019年年度报告 ①报告期内，公司紧跟半导体产业发展前沿，先后实现了高纯三氟甲烷、高纯八氟丙烷、高纯一氧化碳、高纯八氟环丁烷等氟碳类新产品的量产，并陆续 获得终端客户的认证。 ②2019年下半年，公司的锗烷产品已经通过海力士（Hynix）的认证。同时，高纯八氟环丁烷也得到了日本大金的认可，并已批量供应。 ③2019年下半年，公司的一氟甲烷产品正处于液化空气集团美国分公司、大阳日酸株式会社及中芯国际等客户的认证过程中。 ④2019年下半年，高纯氨气、高纯四氟化碳也正在国内某高端存储器客户的认证过程中，等等。 2. 报告期内获得的研发成果 报告期内，公司获得专利证书共21项，其中发明专利有《一种氨气的纯化系统》、《一种具有冷却功能的反应器》、《一种四氟化碳的纯化系统》、《一 种具有氮气回收功能的四氟化碳纯化系统》4项，实用新型专利有《一种搪瓷反应釜》、《一种可燃气体与助燃气体的混配装置》、《一种锗烷的充装配气系统》 等17项。 3. 研发投入情况表 单位：元 本期费用化研发投入 25,446,617.71 本期资本化研发投入 0.00 研发投入合计 25,446,617.71 研发投入总额占营业收入比例（%） 3.02 公司研发人员的数量 88 研发人员数量占公司总人数的比例（%） 10.41 研发投入资本化的比重（%） 0.00 情况说明 公司的在研项目本期投入金额合计为25,480,110.95元，经公司内部抵消后为研发投入合计金额25,446,617.71元。 4. 在研项目情况 √适用□不适用 单位：元 进展或阶段 具体应用前 序号 项目名称 预计总投资规模 本期投入金额 累计投入金额 拟达到目标 技术水平 性成果 景 1 羰基硫研发 3,000,000 325,463.20 325,463.20 实验 99.95%纯度并实 进口替代 芯片的蚀刻 现规模化生产 或清洗 2 高纯二氧化硫生 2,550,000 813,309.33 813,309.33 实验 99.995%纯度并实 进口替代 芯片的蚀刻 产研发 现规模化生产 或清洗 3 半导体用六氟丁 5,400,000 1,118,985.45 1,118,985.45 实验 99.99%纯度并实 进口替代 芯片的蚀刻 17 / 212 2019年年度报告 二烯纯化研制 现规模化生产 或清洗 4 高纯乙烯研发 2,550,000 45,666.72 45,666.72 实验 99.995%纯度并实 进口替代 芯片制造中 现规模化生产 蚀刻铝金属 表面的介质 层薄膜 5 六氟丙烯生产研 3,000,000 1,045,599.56 1,045,599.56 实验 99.999%纯度并实 进口替代 芯片的干式 发 现规模化生产 蚀刻 6 半导体级四氟化 3,000,000 1,488,591.00 1,488,591.00 实验 99.995%纯度并实 进口替代 芯片制造的 硅研发 现规模化生产 干式蚀刻 7 4N 高纯乙炔纯化 2,550,000 1,353.16 1,352.16 实验 99.99%纯度并实 进口替代 芯片制造中 研发 现规模化生产 蚀刻铝金属 表面的介质 层薄膜 8 八氟丙烷合成与 5,600,000 3,247,147.54 3,247,147.54 实验 99.999%纯度并实 进口替代 芯片制造的 纯化研制 现规模化生产 干式蚀刻 9 某氢化物合成研 3,000,000 610,017.86 610,017.86 实验 99.999%纯度并实 填补全球技 芯片先进制 发 现规模化生产 术空白 程的原子沉 积或离子注 入 10 高纯二氧化碳研 4,950,000 684,035.26 2,104,512.97 中试 99.999%纯度，并 进口替代 芯片清洗 发攻关 实现规模化生产 11 电子级一氧化碳 4,950,000 641,217.83 1,774,528.62 中试 99.997%纯度，并 进口替代 芯片干式蚀 研发攻关 实现规模化生产 刻 12 高纯气体分析技 3,800,000 1,390,232.80 1,390,232.80 实验 实现有毒有害、腐 / 气体分析技 术研制 蚀性气体的有效 术 分析方法的建立 13 高纯三氟甲烷中 11,500,000 2,056,152.66 20,169,787.31 中试 99.999%纯度，并 进口替代 芯片制造的 R22 的脱除研究 实现规模化生产 蚀刻 14 高压氧化亚氮小 6,300,000 1,616,681.33 1,616,681.33 实验 实现自动化规模 / 用于食品级 气瓶封装技术的 化生产 氧化亚氮的 研制 高效充装 18 / 212 2019年年度报告 15 特易冷应变强化 1,500,000 266,868.10 266,868.10 实验 通过国家容标委 / 低温液体储 项目 型式试验，实现批 罐应变强化 量生产 制造 16 水浴式电加热器 2,700,000 1,487,782.87 1,487,782.87 实验 实现低温气体的 / 天然气行业 研发 汽化及复热、系统 自动切换、防爆、 能够长时间连续 运营。 17 冷能利用装置研 2,400,000 1,528,329.21 1,528,329.21 实验 1.为工厂提供冷 国内领先 环保空调、设 发 却水、冷却液，减 备冷却、冷藏 少工厂能耗； 2.制成水冷空调， 为工厂集中供冷， 减少能耗 18 法兰式真空管研 2,400,000 1,072,965.10 1,072,965.10 实验 低温试验状态下 行业领先 深冷行业 发 测试真空度不超 0.005pa、真空夹 层漏率不超过 1x10-10pa.m³/s 19 真空截止阀研发 1,660,000 794,017.10 794,017.10 实验 低温试验状态下 行业领先 深冷行业 测试真空度不超 过0.005pa、真空 夹层漏率不超过 1x10-10pa.m³/s 20 移动式低温深冷 2,940,000 1,858,117.79 1,858,117.79 实验 实现撬装产品数 国内先进 气体行业、智 供气系统物联网 据远传、远程调 慧城市、指挥 应用 试、远程控制 物流 21 高纯管道 2,550,000 1,365,563.73 1,365,563.73 实验 保证输送气体的 / 保证高纯特 纯度 种气体在经 过复杂的工 艺输送过程 后仍然保持 19 / 212 2019年年度报告 所要求的纯 度 22 标准气配置研制 4,500,000 0.00 0.00 实验 申请国家二级标 / 作为气体成 准物质1-3项，并 分量值的计 实现规模化生产， 量标准，用于 配气误差控制在 气体分析、环 ±0.5%以内 境等领域测 量 23 稀混光刻气的研 6,300,000 0.00 0.00 实验 进一步降低成本， 进口替代 用于芯片的 制 提高生产效率 光刻 24 高纯一氧化氮的 5,400,000 0.00 0.00 实验 99.999%纯度并实 进口替代 用于芯片的 合成与纯化研制 现规模化生产 气相沉积 25 杜瓦罐的应变强 615,000 203,326.63 203,326.63 实验 提高钢屈服强度， / 用于低温深 化项目 减薄容量壁厚 冷气体的储 存 26 分压法制备氮氢 575,000 283,527.07 283,527.07 项目验收并 建立年产2400瓶 国内领先 常用于化工 混合气体工艺研 量产 的氮氢混合气体 反应中还原 究 生产线 气体和保护 气体使用，防 止材料过氧 化，也用于载 气和化学分 析、化工合成 中 27 高纯甲烷纯化工 471,000 429,113.61 429,113.61 实验 建立工业化 国内领先 新型太阳能 艺的研究 99.999%的高纯甲 电池发展的 烷生产线，产品质 重要材料，应 量满足市场要求 用于高功率、 高密度光伏 太阳能电池 基板 28 高纯氮气变压吸 775,000 426,419.57 426,419.57 项目验收并 建立工业化 国内领先 半导体生产 20 / 212 2019年年度报告 附提出和分装工 量产 99.999%的高纯氮 过程保护气 艺的研究 气生产线，产品质 体和吹扫气 量满足市场要求 体，也广泛应 用于在焊接、 化工反应、电 光源等行业 29 高纯气体气瓶加 278,000 418,906.71 418,906.71 项目验收并 设备处理能力达 国内领先 预计本项目 热抽真空装置的 量产 10瓶/小时，处理 为生产工艺 设计研究 后瓶内杂志含量 设备改进，预 小于0.5ppm 计为公司提 高气瓶处理 能力80% 30 闪蒸纯化法制备 218,000 260,720.77 260,720.77 实验 建立工业化 国内领先 光电子元件 高纯丙烷的工艺 99.99%的高纯丙 重要的掺 研究 烷生产线，产品质 “碳” 源料 量满足市场要求 合计 / 97,432,000 25,480,111.96 46,147,534.11 / / / / 情况说明 公司的在研项目本期投入金额合计为25,480,110.95元，经公司内部抵消后为研发投入合计金额25,446,617.71元。 5. 研发人员情况 单位:元 币种:人民币 教育程度 学历构成 数量（人） 比例(%) 硕士及以上 2 2.27 本科 36 40.91 本科以下 50 56.82 合计 88 100 年龄结构 年龄区间 数量（人） 比例(%) 30及以下 14 15.91 21 / 212 2019年年度报告 31-40 57 64.77 41-60 15 17.05 60及以上 2 2.27 合计 88 100 薪酬情况 研发人员薪酬合计 9,643,351.25 研发人员平均薪酬 109,583.54 6. 其他说明 □适用 √不适用 22 / 212 2019年年度报告